低温等离子体技术在气态污染物治理方面优势显著。其基本原理是在电场的加速作用下，产生高能电子，当电子平均能量超过目标治理物分子化学键能时，分子键断裂，达到消除气态污染物的目的。1980年代，日本东京大学S．Masuda教授提出的高压脉冲电晕放电法是常温常压下得到低温等离子体的zui简单、zui有效的方法。它已成为目前的研究前沿，也正越来越多的用于气态污染物的治理。
等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
(2) 高能电子＋分子(或原子)(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团
从以上过程可以看出，电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。
低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。作为环境污染处理领域中的一项具有*潜在优势的*，等离子体受到了国内外相关学科界的高度关注。
现在，各传媒上宣传低温等离子废气处理的产品和技术很多，可这些产品的宣传大部分都是在炒低温等离子体概念。如何判断是否是真正意义上的低温等离子体技术？可以用下面两个简单的规则来判断，即使你不懂低温等离子体技术也能判断出是线) 在废气处理的通道上必须充满了低温等离子体。这条规则判断很简单，只要用眼睛观察一下处理通道是否充满紫蓝色的放电就可以直观的了解是否是低温等离子体了（需要注意的是不要将各种颜色的灯光当作低温体放电）。如果在废气处理的通道上只零星的分布若干的放电点或线，则处理的效果是非常有限的，因为，大部分的(VOCs)气体没有进过低温等离子体处理区域。
(2) 低温等离子体处理系统必须要有一定的放电处理功率。通常需要在2～5瓦时/米3。即1000米3/时的风量需要处理的电功率为2KW～5KW。如果号称1000米3/时的风量只需要几十或几百瓦的电功率，则zui多也就是静电(除尘)处理或局部处理而已。要想分解VOCs没有一定的能量从理论上也是不可能的。
1、工艺简洁：等离子废气净化设备操作简单，方便，无需专人看管，遇故障自动停机报警。
3、适应范围广：在-60℃~+300℃的环境内均可正常运转，特别是在潮湿，甚至空气湿度饱和的环境下仍可正常运行。
4、设备使用寿命长：本设备由不锈钢材，石英、钼等材料组成，抗氧化性强，在酸性气体中耐腐蚀。
6、500～2000米3/时为一个低温等离子体处理装置单元，一个单元用一个脉冲电源激励。
3． 主机重量：10KG；变压器重量：35Kg；低温等离子体处理装置重量：10Kg
15．效率：含硫恶臭气体（H2S，CS2）85%，VOC（苯，甲苯，二甲苯）95%
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